对于淬火热处理变形来说冷却方式有较大的影响。一般淬火热处理的冷却方式采用均匀的冷却方法。
相变引起的尺寸变化能够因钢材的合理选择而变小。但是，当钢种若已选定时，则由此而产生的热处理尺寸变化是不可避免的。在实际淬火操作中，主要是因钢件各部位不同时发生相变而产生的变形、开裂及热歪扭。
为了缩小各部位马氏体化时间上的错开，采用在出现屈氏体组织附近的温度范围急冷，而在Ms点以下实行缓冷的方法较好。淬火冷却剂使用水时，则在Ms点以下冷却速度较大，则变形很大。要在Ms点以下实行缓冷，最好采用油中淬火，空气中冷却。水中急冷后，估计达到Ms点附近温度的时间，即从水中取出，移入油中，吹风冷却，空冷等。若淬火移入油中的时间能够很好的掌握的话将是有效的。
高频淬火热处理，由于加热表皮，整体变形小是个优点。同时正确地支撑零件，使用稳定的高频加热装置，以一定量的水，一定的方向，一定的时间进行喷射淬火，这样产生的歪扭也是稳定的。但这时同样要注意被硬化表面应均匀地进行冷却。是高频淬火时，表示冷却时间稍有不同而产生变形的例子。
原因是沿齿条的冷却速度不一样，齿端部侧面冷却缓慢。使用这种感应圈淬火时的冷却水是在齿宽中央的某一范围内喷射， 直接充满感应圈和齿轮之间， 使整体冷却而结束淬火，然而齿的两头比齿宽中央部分淬火晚一瞬间。
首先马氏体化而膨胀， 使硬化迟的 ι’部分向齿的端面压缩， 其结果ι’部分在齿宽方向和与此垂直的方向伸长， 接着这部分马氏体化。因此，开始时齿宽方向伸长的影响则于淬火后表现为齿条的弯曲。这种缓慢的冷却对淬火硬度没有多少影响，然而却是产生歪扭的原因。
