一、注意事项
1、真空设备用油在密封条件下保质期可以达到三年；
2、油品应存放阴凉干燥处；
3、油桶打开使用后，剩余的油应盖好密封盖，同时尽快用完剩余的部分，切勿混入其他粉末和液体杂质；
4、环境工具应保持干净，若用溶剂清洗后应烘干使用；
5、根据真空泵的结构精度和使用环境，应选用相应精度品质的油品。
二、换油方法
换油最好在油温升高后进行。对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平时也要注意保护进气口，检查滤网，防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油，损坏真空室。
如果扩散泵太脏或者油变质，都将延长达到正常工作真空度的时间，极限真空度也会恶化。这时必须清洗和换油，其步骤大致如下：
(1)拆下扩散泵，取出喷咀系统，尽可能将它拆成单个零件。
(2)倒出被氧化或劣化了的油(呈褐色)。
(3)用石油醚或四氯化碳清洗喷咀系统各零件及扩散泵内壁。若油垢清洗不下来可用金属擦膏，仔细擦净(注意勿损坏金属喷口)。泵上方的水冷挡板也应洗净。
(4)装入干净的扩散泵油。注意油量一定要合适(根据说明书)，太多或太少都会影咆抽气速率。
(5)重新把扩散泵装配起来。
三、换炉丝
扩散泵长期使用，其加热器(电炉丝)变细，阻值增大，抽气速率也会下降，这时妊须换上功率相等的合适的炉丝。
若扩散泵加热器电源电压下降，也会降低排气效率，应设法保证一定的电源电压值。
四、真空泵换油后产生问题排除方法
泵出气口有喷油现象： 油加的过多，减少油的加入量。 进气口长时间抽大气，应加以避免。
泵出气口有雾现象：检查进气口及其他部分是否有漏气 。
真空度偏低： 泵腔内及油中是否混入其他轻质液体，新换油后应适当运转一段时间；检查泵各密封部分是否有漏气现象；校对好检测仪表。
五、扩散泵 、油增压泵换油注意事项：
选用品质好的油品；换油时应全部倒出旧油；用溶剂汽油或专用清洗剂清洗泵内全部零件，并用丙酮或乙谜擦干，放在烤箱中烘干，也可用吹风机吹干；按原来部位安装好泵内外零件，喷嘴应在泵腔中部； 操作者应手戴白纱脱脂手套装配，按要求量倒入扩散泵油或增压泵油。
六、扩散泵使用中产生的问题及排除方法：
真空度偏低： 检查前级真空； 检查冷却水是否畅通，水温是否偏高； 冷却水管有没有部分堵塞； 电炉丝功率偏大或偏小； 供电电压是否偏低； 各喷油嘴装配不正确； 规管测量不准确； 仪表或导线不正常； 真空系统是否漏气；工作室经长期使用残留镀层是否太厚；
由操作不当引起的油品很快氧化，即变红或变黑： 检查工作是是否忘记打开冷水； 真空系统存在较严重漏气； 扩散泵在工作时大气进入了扩散泵内；工作室内有可挥发气体或灰尘进入泵腔内。
